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- 2023-05-11 发布于四川
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本申请提供了一种位移机构的位移标定方法及装置，包括：确定预先设置的电机步数向量集合；控制电机按照电机步数向量集合中的各步数向量依次进行运动，在电机每运动一个步数向量时，获取测微计采集到的位移测量值；针对每个步数向量，根据该步数向量对应的位移测量值和中点位移向量，确定该步数向量对应的滑块的位移标定值；根据每个步数向量以及与各步数向量对应的位移标定值，建立多个步数向量与多个位移标定值之间的映射关系，以完成对位移机构的位移标定。本申请通过预先对位移标定机构进行位移标定，有助于消除电机回隙造成的定位误差
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114578788 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210200008.7
(22)申请日 2022.03.02
(71)申请人 北京半导体专用设备
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