一种半导体生产设备的检测模组.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种半导体生产设备的检测模组.pdf

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本发明涉及半导体技术领域，尤其提供一种半导体生产设备的检测模组。该半导体生产设备的检测模组包括检测平台、两个驱动组件、刻印组件与检测组件，检测平台安装于地面上，两个驱动组件分别固定安装于检测平台顶壁的两端，刻印组件固定安装于检测平台顶壁的中部，检测组件固定安装于检测平台的顶部，本发明能够通过检测件检测到横向量尺移动的距离，从而实现检测半导体器件板的宽度是否符合要求，通过纵向量尺与厚度刻线能够检测出半导体器件板边缘的厚度，能够靠近半导体器件板进行微观检测，也能够实现广角检测，能够检测半导体器件板的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116086277 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310364211.2 (22)申请日 2023.04.07 (71)申请人常州龙米软件有限公司地址 21