一种声表面波器件电极结构及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种声表面波器件电极结构及其制作方法.pdf

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本申请涉及一种声表面波器件电极结构及其制作方法，其电极结构包括第一电极层、第二电极层和第三电极层；所述第一电极层镀覆于所述压电基底的一面；所述第二电极层镀覆于所述第一电极层远离所述压电基底的一面；所述第三电极层镀覆于所述第二电极层远离所述压电基底的一面；所述第一电极层和第三电极层为金属材料制成；所述第二电极层为半导体材料制成。当第二电极层镀覆于第一电极层上时，随着声表面波滤波器长时间使用，其产生的高温使得金属原子具有移动的趋势，但由于此时半导体分子较为稳定，能够阻碍金属原子在具有移动的趋势下不发

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114553171 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210088875.6 (22)申请日 2022.01.25 (71)申请人北京中科飞鸿科技股份有限公司地址