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本文公开了在硅基基底上形成烧结补片的方法。该方法包括:在硅基基底上施加补片浆料;对硅基基底上的补片浆料进行干燥,形成干燥的补片材料;以及在氧化气氛中对干燥的补片材料进行烧结,在硅基基底上形成烧结补片。补片浆料包含补片材料,所述补片材料包含在流体载体中的硅酸盐。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114575933 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202111356342.3 F23R 3/00 (2006.01)
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