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- 2023-05-11 发布于四川
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本发明涉及一种激光诱导击穿光谱增强检测装置及其检测方法,与现有技术相比解决了激光诱导击穿光谱灵敏度低的缺陷。本发明包括激光激发系统和光谱收集系统,激光激发系统输出的光束经光束整形器整形成线光束,还包括光谱增强组件,所述的光谱增强组件包括微型聚焦透镜阵列和微型腔体,线光束经微型聚焦透镜阵列分成若干个聚焦点经微型腔体后在被测样品表面形成聚焦线阵。本发明采用光谱增强组件将双脉冲激发、线激发和腔约束相集成,且辅以惰性气体环境,提高了激光击穿光谱测量的准确性,提高了激光诱导击穿光谱技术的检测灵敏度和检测准
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114577780 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210212202.7
(22)申请日 2022.03.04
(71)申请人 中国科学院合肥物质科学研究院
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