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一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法.pdf

    本发明提供一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法，包括：基底；设置在基底底部的传感电极、量子点层和底部填充层；所述基底顶部设有第一反射层和第一驱动电极；与所述第一反射层相对地设有第二反射层，所述第二反射层设置在支承梁底部，所述支承梁底部还设有第二驱动电极，所述支撑梁与两侧的悬臂梁连接，所述悬臂梁通过键合层与所述基底连接；所述第一反射层、第二反射层与之间的空气间隙构成法布里‑珀罗干涉腔。本发明还提供了上述芯片的制备方法。本发明的传感芯片直接集成量子点紫外传感与变间隙法布里‑珀罗干涉滤波腔，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582991 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210162068.4 H01L 31/18 (2006.01)

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