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一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法.pdf

    本发明公开了一种体声波谐振器、制备方法以及滤波器、制备方法。该体声波谐振器的制备方法包括：提供衬底，其中，衬底的表面或者内部设置有声反射结构；在衬底之上依次形成下电极、压电层和上电极；在上电极背离压电层的表面形成掩膜层，其中，掩膜层设置有框架结构窗口，框架结构窗口包括第一窗口；形成凸起结构膜层，其中，凸起结构膜层位于掩膜层的表面以及上电极上第一窗口内，位于上电极上第一窗口内的凸起结构膜层为凸起结构；去除掩膜层以及掩膜层表面的凸起结构膜层。本发明实施例提供的技术方案，简化了体声波谐振器的制备工艺，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114584100 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210226545.9 (22)申请日 2022.03.09 (71)申请人 苏州汉天下电子有限

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