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声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器.pdf

    本发明提供一种声表面波谐振器及其制造方法、以及声表面波滤波器，具有高品质因素Q、高机电耦合系数、良好的TCF特性和耐功率性。本发明的声表面波谐振器，包括：复合压电衬底，该复合压电衬底具有：LGS基底层，该LGS基底层由单晶LGS形成，及形成在LGS基底层之上的GaN压电层，该GaN压电层的厚度不超过在声表面波谐振器中传播的声波波长的20倍；以及形成在GaN压电层上的叉指电极。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114584101 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210230145.5 (22)申请日 2022.03.10 (71)申请人 广东广纳芯科技有限

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