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本发明提供一种检测方法,包括:分别对参考区沿每个待优化方向的尺寸进行优化操作,所述优化操作的步骤包括:获取关于所述参考区沿待优化方向的尺寸的判断函数,所述判断函数与参考区的检测信息的信噪比或所述待测目标值的鲁棒性正相关或负相关;通过所述判断函数对所述参考区沿待优化方向的尺寸进行优化处理,使所述参考区的判断函数满足预设条件,获得参考区沿待优化方向的优化尺寸;根据所述优化操作之后的参考区的检测信息获取待测目标的待测目标值。通过设置判断函数对参考区进行优化操作,能够避免参考区丢掉过多的有用检测信息,从
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116091387 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202111316581.6
(22)申请日 2021.11.05
(71)申请人 深圳中科飞测科技股份有限公司
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