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本发明涉及光栅尺技术领域,具体涉及一种高精密光栅尺快速测量装置及其方法,包括标尺光栅、光栅读数头、水平度调整组件和温控组件,水平度调整组件包括底部安装板、活动安装板、多个螺栓和多个螺帽,底部安装板与机床固定部位固定连接,多个螺帽分别与底部安装板转动连接,多个螺栓分别与活动安装板铰接,标尺光栅与机床活动部位固定连接,标尺光栅与光栅读数头电性连接,温控组件包括安装套、伸缩气缸、安装架和恒温器,安装套与活动安装板拆卸连接,伸缩气缸固定安装在安装套的内部,安装架与伸缩气缸的输出端固定,通过上述结构的设置
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114589546 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210219969.2
(22)申请日 2022.03.08
(71)申请人 苏州贝格纳工业设备有限公司
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