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本公开提供一种体声波谐振器、电子设备及其制造方法，体声波谐振器包括：衬底、声波反射区域、堆叠组件以及质量负载，声波反射区域形成在衬底中或衬底上；堆叠组件包括设置于声波反射区域上方的下电极、压电层和上电极；上电极、压电层和下电极构成堆叠组件的叠层结构；声波反射区域、上电极、压电层和下电极之间的重叠区域定义为声波谐振器的有源区域；质量负载是通过离子注入在有源区域内的堆叠组件中形成的。本公开的制作方法能精确调节频率；能利用体声波谐振器既有结构特征形成质量负载且不破坏该既有结构特征的表面形态；不对后续工
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116094484 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211501578.6
(22)申请日 2022.11.28
(71)申请人 北京中科汉天下电子技术有限公司
地
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