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一种基于探针台高度的补偿方法、装置及电子设备.pdfVIP

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  • 2023-05-12 发布于四川
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一种基于探针台高度的补偿方法、装置及电子设备.pdf

    本申请提供了一种基于探针台高度的补偿方法、装置及电子设备，方法包括：响应于探针台启动操作，将待测试器件置于可移动承片台上，并通过自动补偿机构完成测试探针与待测试器件之间的对准矫正；通过温控箱控制可移动承片台升高/降低并稳定至目标工艺温度；控制多个测距传感器分别测量与可移动承片台之间的垂向距离；对获得的多个垂向距离进行拟合计算，确定可移动承片台对应的垂向补偿值；根据垂向补偿值控制可移动承片台进行移动，以完成对可移动承片台的高度校准。本申请通过自动补偿机构完成对承片台高度补偿，提高待测试器件测试准确

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116047268 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202310038274.9 (22)申请日 2023.01.10 (71)申请人 北京半导体专用设

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