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- 2023-05-12 发布于四川
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本发明提出了一种晶圆级红外焦平面阵列制备方法和红外焦平面阵列，该方法包括：在探测器晶圆上制备第一铜柱和第一铜焊盘，在读出电路晶圆上制备第二铜柱和第二铜焊盘；第一铜柱和第二铜柱对准后，将两个晶圆倒装键合形成混合晶圆；底部填充后，先对探测器晶圆的背面进行研磨和抛光，然后在探测器晶圆的背面旋涂光刻胶在探测器晶圆上形成通孔；一次去胶，在探测器晶圆背面沉积出钝化层；刻蚀掉多余钝化层露出图形窗口；二次去胶，在探测器背面电镀铜填充通孔，经过抛光去除多余铜，使探测器晶圆背面通孔中铜露出完成制备。本发明还提出了红
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116053287 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202310038318.8
(22)申请日 2023.01.10
(71)申请人 山东云海国创云计算装备产业创新
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