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一种透明陶瓷和单晶硅的超快激光连接方法,属于超快激光连接新技术领域。包括以下步骤:1)待连接的透明陶瓷和单晶硅的预处理;2)待连接的透明陶瓷和单晶硅的固定与放置;3)超快激光微连接。本发明利用超快激光的超短脉宽、极高的峰值强度和极小的热影响区等特点,成功将物理化学性能差异大的透明陶瓷和单晶硅连接在一起,并获得高精密、高可靠的微连接接头。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116041083 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202211659816.6
(22)申请日 2022.12.20
(71)申请人 北京工业大学
地址 100124
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