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本发明公开了一种三氯化铁蚀刻液处理及再生循环的工艺方法，主要包括(1)、将产线三氯化铁蚀刻液溢流至蚀刻废液储存桶；(2)、蚀刻废液储存桶与萃取槽连接，循环萃取，萃取后的水相低铜蚀刻液输送至氧化槽，经氧化后低铜蚀刻液返回至产线；(3)、油相进入水洗段，经水洗后的油相中通入硫酸溶液进行反萃，反萃后的水相通入电解槽中进行电解，电解产生氧气通入步骤(2)中的氧化槽中；(4)、反萃后的油相通入萃取槽重新进行萃取流程。本发明的整体工艺流程不引入任何的氧化剂，可以大大缩减成本，电解期间不产生氯气带来的不安全因
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114606497 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202210105394.1
(22)申请日 2022.01.28
(71)申请人 斯瑞尔环境科技股份
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