一种硅棒切磨一体机及硅棒切磨方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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一种硅棒切磨一体机及硅棒切磨方法.pdf

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本发明涉及晶硅加工技术领域，尤其涉及一种硅棒切磨一体机及硅棒切磨方法。该硅棒切磨一体机包括开方装置、上下料平台、磨床装置、底座及设置在底座上的框架，开方夹具和磨床夹具均设置在框架的滑轨上，开方夹具用于对待处理硅棒进行夹持并沿滑轨移动至开方机构的开方工作位，磨床夹具用于对经过开方后的硅棒进行夹持并沿滑轨移动至磨床机构的磨削工作位，上下料平台用于放置待处理硅棒、开方后的硅棒以及磨削后的硅棒，上下料平台能够使待处理硅棒和开方后的硅棒的中心线在同一轴线上。该硅棒切磨一体机提高了硅棒加工的效率，同时可以有

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114589825 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210277335.2 B24B 27/00 (2006.01)