原创力文档- 2
- 0
- 约6.82千字
- 约 6页
- 2023-05-12 发布于四川
- 举报
本发明涉及一种氧化锌的薄膜生长方法，包括以下步骤：选用蓝宝石衬底作为生长ZnO薄膜材料的衬底；将清洗过的衬底放在MOCVD设备的反应室衬底底座上；将反应室抽真空至3*10‑3Pa以下，以排净反应室中的空气；充入氮气和氢气的混合气体对衬底进行高温预处理3‑8min，高温预处理的温度为1000℃‑1200℃；将衬底降温到适合ZnO薄膜生长的温度；打开反应室衬底底座旋转开关，使得衬底匀速旋转；在MOCVD设备中利用载气从衬底侧面通入锌源和氧源，锌源和氧源在高速选择中转和加热均匀的衬底上会合并反应，在衬
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114574961 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210290120.4
(22)申请日 2022.03.23
(71)申请人 广东省智能机器人研究院
地址 52
文档评论（0）