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本发明提供一种堆叠纳米片环栅晶体管及其制备方法，具体包括：提供衬底，衬底一侧具有支撑部，在支撑部上具有交替层叠的牺牲层和沟道层，支撑部、牺牲层和沟道层构成鳍片；形成跨鳍片的假栅；在假栅两侧形成侧墙；在侧墙两侧形成源/漏区域；从源/漏区域向中心方向刻蚀掉牺牲层的边缘部分，形成内嵌的凹槽；沉积内侧墙介质，覆盖整个表面并充满凹槽；利用各向异性刻蚀，去除内侧墙介质位于水平方向上的部分；在源/漏区域的底部形成隔离层；利用各向同性刻蚀，去除内侧墙介质位于垂直方向上的部分；将沟道层进行外延生长，在隔离层上方形
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116092938 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211431331.1
(22)申请日 2022.11.15
(71)申请人 中国科学院微电子
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