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本发明公开了一种悬臂梁非接触微电流传感器，包括固定支座、压电薄膜、永磁薄膜和基板，基板一端水平固定连接在固定支座上，压电薄膜覆盖在基板上表面，永磁薄膜固定连接在基板下表面且靠近自由端，压电薄膜上方引出正极，基板引出负极。本发明根据磁体在磁场中受力原理，永磁薄膜会给予基板产生作用力作用于基板，基板变形作用于压电薄膜，从而读取电压值，从而间接对微电流进行测量，但相较于电路测量，设计更为简单，涉及的元件更少；相对于光学测量方式，本发明稳定性更好，抗干扰能力更高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116096206 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211318288.8 H10N 30/00 (2023.01)
(22)申请日 2022.10.
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