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本发明公开了一种分级分维度反射式均匀线光斑整形系统，该整形系统由4组反射镜组成，分别为M1凸双曲柱面反射镜、M2凹扁椭圆柱面反射镜、M3凸抛物柱面反射镜和M4凹抛物柱面反射镜。本发明的整形系统设计得到的线光斑在X方向上的光强分布情况，激光光强按高斯型分布，经过本系统的四面反射镜的整形，使得聚焦光斑的分布呈平顶型，这这种分布形态有利于保持工艺的一致性，提升加工效率；同时得到的线光斑在Y方向上的光强分布情况，在圈入能量为86.5％时，光斑宽度小于0.12mm。满足激光改性所需要的0.15mm的光斑宽
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116088186 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211320320.6
(22)申请日 2022.10.28
(71)申请人 苏州运达恒兴科技有限公司
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