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- 2023-05-13 发布于四川
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本发明公开了一种吸盘的制作方法和光刻设备，包括：提供具有可塑性的板体；挤压所述板体，使所述板体构造出沿第一方向贯通所述板体的多个吸附腔，多个所述吸附腔沿第二方向间隔排列，所述第一方向和所述第二方向均垂直于所述板体的厚度方向；在所述板体的厚度方向的一侧面构造出多个吸附孔，每个所述吸附腔与至少一个所述吸附孔连通，在所述板体的厚度方向的另一侧面构造出与多个所述吸附腔连通的吸附槽。根据本发明实施例的吸盘的制作方法具有加工便捷、成本低和强度高等优点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114647157 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202210317501.7
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
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