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本申请公开了一种晶圆调度方法、装置及半导体设备，基于当前批次的晶圆的源腔室和目标腔室，确定用于搬运当前批次的晶圆的目标机械手；实时从调度存储对象中获取目标机械手的调度模式，调度存储对象是在启动加工任务时生成的，目标机械手调度模式是通过机械手配置模块预先配置并在启动加工任务时被保存至调度存储对象中的；基于目标机械手调度模式确定包含当前批次的晶圆的移动动作的移动序列，并按照移动序列移动当前批次的晶圆。可见，本申请可提前为当前批次的晶圆设置满足其调度要求的机械手调度模式，并在晶圆调度时基于相应设置的机
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116053175 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202211501746.1
(22)申请日 2022.11.28
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
地
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