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本发明提供了一种具有U型截面轮廓的沟槽砂轮的激光加工装置及方法,所需装置包括:超快激光加工设备、旋转电机、砂轮、固定夹具,加工方法包括:平行扫描的激光从沟槽左侧逐渐偏置到右侧,相邻两个扫描路径的间距为L;然后再返回到沟槽左侧,相邻两个扫描直线的间距为L;从左到右与从右到左的激光扫描阵列之间的间距为L/2;经过一定扫描循环后,加工出沟槽;旋转电机驱动砂轮旋转一定角度,重复加工下一个沟槽。本发明所提供的激光往复扫描加工方法可以抑制激光损伤累积效应对沟槽轮廓单侧倾斜的影响,从而得到具有U型轮廓的沟槽结
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114102453 A
(43)申请公布日 2022.03.01
(21)申请号 202111462553.5
(22)申请日 2021.12.02
(71)申请人 上海交通大学
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