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本发明公开了一种基于压电纳米棒的高性能自供电声学传感器的制备方法。该方法可以获得棒状材料在内部均匀分布的压电层和图案化的电极层。其中,均匀分布是通过旋涂、刮涂的方式实现,图案化的电极层可通过打印,真空蒸镀,丝网印刷的方式实现。本发明方法简单,快速,节约成本,可批量制备高性能自供电声学传感器,该传感器具有较高的灵敏度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114639771 A
(43)申请公布日 2022.06.17
(21)申请号 202210267872.9
(22)申请日 2022.03.18
(71)申请人 中国科学院化学研究所
地址 100
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