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晶粒分选装置.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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晶粒分选装置.pdf

    本申请提供了一种晶粒分选装置，包括上料组件、夹取组件、晶圆台组件、顶针组件、翻转组件、检测组件、转塔组件及收料组件，上料组件获取晶圆盒，晶圆盒中装载有多片晶圆，夹取组件将晶圆盒中的多片晶圆分别夹取至晶圆台组件，晶圆台组件对晶圆进行扩膜，顶针组件顶起扩膜后的晶圆上的晶粒，翻转组件吸取晶粒，检测组件包括第一检测相机，第一检测相机用于检测晶粒的第一面，翻转组件将晶粒的第一面旋转并对准转塔组件，以使得转塔组件吸取晶粒的第一面，检测组件还包括多个检测相机，分别对晶粒的多个面进行检测，转塔组件将检测合格的晶

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114649241 A (43)申请公布日 2022.06.21 (21)申请号 202210255708.6 (22)申请日 2022.03.15 (71)申请人 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司 地址

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