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- 2023-05-13 发布于四川
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本发明提供一种钻石晶体生长设备的真空系统结构，涉及合成钻石技术领域，该钻石晶体生长设备的真空系统结构，包括：工作台以及位于其上方的顶板，所述工作台的顶端中部固定安装有承载台，所述承载台的顶部边缘处安装有密封环，所述顶板的底部安装有真空炉体，所述真空炉体的内壁底部开设有用于与密封环配合的第一密封槽，所述承载台四个外壁顶部以及真空炉体四个外壁底部均开设有第二密封槽，所述工作台的顶部四边均安装有用于与第二密封槽配合的密封板，所述密封板远离承载台的一侧安装有气动顶紧机构，所述真空炉体的顶部边缘处与顶板之
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114645323 A
(43)申请公布日 2022.06.21
(21)申请号 202210327235.6
(22)申请日 2022.03.30
(71)申请人 中科前沿科技研究有限公司
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