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- 2023-05-14 发布于四川
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本申请提供了一种腔体的净化方法、净化设备和电子束曝光装置，该方法包括：将颗粒吸附结构送入真空腔体内；向颗粒吸附结构发射预定电荷，使得颗粒吸附结构带上预定电荷，预定电荷为正电荷和/或负电荷；在颗粒吸附结构带上预定电荷预定时间段之后，将颗粒吸附结构送出真空腔体。通过使颗粒吸附结构带上预定电荷，利用静电吸附原理，来吸附真空腔体内的与预定电荷电性相反的颗粒，再将吸附了颗粒的颗粒吸附结构送出真空腔体，相比现有技术，该方法无需打开真空腔体放为大气做清洁，节省了人力成本，并且避免了清洁耗时较长、效率低下的问题
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114675496 A
(43)申请公布日 2022.06.28
(21)申请号 202011555622.2
(22)申请日 2020.12.24
(71)申请人 无锡迪思微电子有限公司
地址 21
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