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本公开涉及具有点到点聚焦的扫描装置。一种以每秒至少一千个对象点(P、Px、P1、P2、P3)的测量速率来测量对象表面的方法和光电测量装置(1)。使用处于发射射束路径(9)中的高速自动聚焦光学模块，所述高速自动聚焦光学模块包括具有1ms以下的响应时间的至少一个可变焦距透镜(2、2a)或可重构光学相位板，在单个对象点测量周期内进行测量射束的实时焦点调整。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114675288 A
(43)申请公布日 2022.06.28
(21)申请号 202111492422.1 G02B 7/09 (2021.01)
(22)申请日 2021.12.0
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