晶圆清洗装置和晶圆加工设备.pdfVIP

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2023-05-14 发布于四川
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晶圆清洗装置和晶圆加工设备.pdf

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本发明提供了一种晶圆清洗装置和晶圆加工设备，包括：滚刷，分别配置于晶圆的两侧刷洗晶圆的表面；驱动机构，驱动所述滚刷；旋转机构，用于旋转晶圆；所述滚刷包括同轴套装的刷体、第一芯筒、第二芯筒；所述刷体紧贴其内间隔地嵌套有第二芯筒的第一芯筒的外表面；所述第一芯筒散布有多个通水孔，所述第二芯筒散布有多个节水孔，使得注入滚刷的液体轴向均匀地输送至刷体。本发明提供的晶圆清洗装置改善了传统滚刷出液不均匀的问题，通过在第一芯筒内套装第二芯筒，清洗液经过两级匀流，实现了滚刷轴向均匀出液，保证刷体的轴向各处均处于湿

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116099785 A (43)申请公布日 2023.05.12 (21)申请号 202211692068.1 (22)申请日 2022.12.28 (71)申请人华海清科股份有限公司地址 30