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本发明涉及一种高灵敏度折射率纳米传感器,包括金属层,金属层内沿水平方向依次设有输入通道、谐振腔和输出通道,所述谐振腔与输入通道、输出通道分别留有耦合间隙,所述谐振腔呈长方形,所述谐振腔内设有金属负载,所述金属负载用于提高折射率纳米传感器的灵敏度。本发明能够在不增加器件整体尺寸的前提下,有效提高折射率纳米传感器的灵敏度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114720423 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210232186.8
(22)申请日 2022.03.10
(71)申请人 北京化工大学
地址 100029
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