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电极层、电容器及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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电极层、电容器及其制备方法.pdf

    本发明涉及一种电极层、电容器及其制备方法，包括如下步骤：形成第一电极层，所述第一电极层包括掺杂氮化钛层；于所述第一电极层的表面形成第二电极层，所述第二电极层包括氮化钛层或功函数层。该电极层的制备方法使用包括掺杂氮化钛层的叠层结构作为电极层替代单一材料的电极层，由于掺杂氮化钛层相较于氮化钛层具有两倍以上的机械强度，又电极层为包括至少两层材料层的叠层结构，可以显著增强电极层的机械强度，在电极层用于电容器的下电极层时可以避免因应力而发生坍塌。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114725105 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202110009808.6 (22)申请日 2021.01.05 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230

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