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一种复合功能MEMS器件结构及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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一种复合功能MEMS器件结构及其制造方法.pdf

    本发明公开了一种复合功能MEMS器件结构，包括MEMS电容器和MEMS静电语音压力敏感膜器件，两者集成制备在同一个衬底上。包括由下到上依次层叠的衬底、隔离层、下背极、第一间隙层、振膜、第二间隙层、上背极；所述MEMS电容器和MEMS静电语音压力敏感膜器件分列左右两部分；MEMS电容器部分的衬底、隔离层、第一间隙层、第二间隙层、上背极的中部对应设置通孔；下背极、上背极中部设置声孔；MEMS静电语音压力敏感膜器件部分的衬底、隔离层、下背极、第一间隙层、第二间隙层的中部对应设置通孔。本发明利用MEMS

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114715836 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210390856.9 (22)申请日 2022.04.14 (71)申请人 苏州感芯微系统技术有限公司 地址

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