光栅衍射效率测试装置及方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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光栅衍射效率测试装置及方法.pdf

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本发明提供了一种光栅衍射效率测试装置及方法，涉及光栅衍射效率测量领域，为解决现有光栅衍射效率的扫描范围有限的问题而设计。该光栅衍射效率测试装置包括光源、测量头、移动组件以及用于放置待测光栅的样品台；测量头安装于移动组件，移动组件用于带动测量头在待测光栅的平行平面线性移动，样品台至少具有第一位置和第二位置，第一位置和第二位置具有绕Z向的相位差，Z向垂直于待测光栅；测量头用于接收光源发出的光束并将该光束以设定角度照射至待测光栅，以及接收由待测光栅衍射返回的光束。本发明可实现对待测光栅的全幅面衍射效率

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114720093 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210253223.3 (22)申请日 2022.03.15 (71)申请人北京华卓精科科技股份有限公司地址