一种长距离跨平面键合金线连接方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种长距离跨平面键合金线连接方法.pdf

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本申请涉及空间应用技术领域，具体而言，涉及一种长距离跨平面键合金线连接方法，包括如下步骤：步骤1：选择金线，对金线进行检验测试，选择出合适的金线；步骤2：将金线的一端在质量块中心位置进行键合，形成第一键合点；步骤3：使用牵引工装吸附牵引金线，使金线的另一端穿过上电极板的中心孔；步骤4：调整金线的长度和弧度；步骤5：将金线的另一端在固定块表面进行键合，形成第二键合点；步骤6：使用胶液对第一键合点和第二键合点的脖颈处进行加固，完成长距离跨平面键合金线连接。本申请实现了金线在静电悬浮加速度计敏感结构内

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114719885 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210321124.4 (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人兰州空间技术物理研究所地址 73