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使用微粒多束显微镜电压对比成像的方法，电压对比成像的微粒多束显微镜以及使用微粒多束显微镜电压对比成像的半导体结构.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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使用微粒多束显微镜电压对比成像的方法，电压对比成像的微粒多束显微镜以及使用微粒多束显微镜电压对比成像的半导体结构.pdf

    本发明包含一方法、一微粒多束显微镜和一半导体结构，以通过微粒多束显微镜的多个微粒束对半导体样品进行充电，并进行高分辨率的电压对比成像，无需切换微粒多束显微镜或移动半导体样品。在这种情况下，由各自具有低的微粒电流的所选微粒束的总和所形成的相加总电流在半导体结构中产生电荷并因此产生电压差。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730685 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080081375.9 (74)专利代理机构 北京市柳沈律师事务所

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