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- 2023-05-15 发布于四川
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一种分离经涂覆基板的方法，包括将红外激光射束引导至经涂覆基板的第一表面上。经涂覆基板包括设置在透明工件上的涂覆层，多个缺陷沿轮廓线设置在经涂覆基板内，该轮廓线将主要区域与经涂覆基板的虚设区域分开。方法还包括将经涂覆基板和红外激光射束中的至少一者相对于彼此平移，使得红外射束斑追踪振荡路径，该振荡路径在平移方向上遵循偏移线并在内轨道线和外轨道线之间振荡，该振荡路径设置在经涂覆基板的虚设区域上，并且红外激光射束对多个缺陷施加热能，以引起经涂覆基板的分离。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116034095 A
(43)申请公布日 2023.04.28
(21)申请号 202180056304.8 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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