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本公开实施例提供了一种气体分子污染物的监测装置及监测方法,该监测装置包括第一采样通路和第二采样通路,通过设置并列的第一采样通路和第二采样通路交替进行采样,同时设置吹扫组件连通第一采样通路和第二采样通路,第一采样通路和第二采样通路中任意一者在进行采样时,对另一者进行吹扫,使得第一采样通路和第二采样通路进行交替吹扫,由于两路采样通路进行交替采样和交替吹扫,相邻近的两次采样和吹扫之间没有延迟,采样和吹扫交替进行,因此可以提高气体分子污染物的监测效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114720638 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210347658.4
(22)申请日 2022.04.01
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 230
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