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- 2023-05-15 发布于四川
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本发明涉及一种阳极氧化膜的制备方法，所述制备方法包括依次进行的脱脂处理、碱蚀处理、中和处理、阳极氧化处理、超声波清洗处理和封孔处理。本发明通过改善工艺参数，采用6‑40g/L草酸和14‑16g/L硫酸的混合酸阳极氧化，将各个基础操作重新组合，可以明显提升皮膜的耐腐蚀性能和耐电压性，尤其是耐HCl腐蚀性能，直接解决OLED用真空干刻设备零部件表面阳极氧化膜的的腐蚀、龟裂等问题，明显提升设备在腔体内的使用寿命。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114717628 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202210391695.5 C25D 11/18 (2006.01)
(22)申请日 2022.04.
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