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一种玻璃基板沉铜工艺.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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一种玻璃基板沉铜工艺.pdf

    本发明公开了一种玻璃基板沉铜工艺，包括以下步骤：S1：入料传送；S2：等离子清洗；S3：喷淋+二流体；S4：预浸；S5：活化；S6：喷淋+二流体；S7：还原；S8：喷淋+二流体；S9：沉铜1‑6；S10：喷淋漂洗；S11：出光；S12：喷淋漂洗；S13：喷淋+二流体；S14：压缩空气吹干；S15：热压缩空气吹干；S16：远红外干燥；S17：出料传送。本发明，工艺简单，免去了很多重复性工序，提高了工作效率。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114727507 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210393686.X (22)申请日 2022.04.15 (71)申请人 苏州殷绿勒精密机械科技有限公司 地址

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