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- 2023-05-15 发布于四川
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本发明公开了一种提高硅光电倍增器几何填充因子的凹凸复合微透镜。所述凹凸复合微透镜阵列包括呈阵列布置的基础结构；基础结构的上部设有向外的凸透镜，相邻所述基础结构之间设有向内凹陷的凹透镜；基础结构、凸透镜和凹透镜均由光刻胶制成。本发明复合凸凹透镜材料的折射率为1.57～1.65，能够将入射到SiPMAPD微单元上的光汇聚到所述微单元的中心，使入射到APD微单元之间的光折射、发散进入到APD微单元，从而提高SiPM的几何填充因子和探测效率。本发明制作凹凸复合微透镜阵列的材料兼具钝化保护SiPM的作用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114725133 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202110330395.1
(22)申请日 2021.03.24
(71)申请人 北京师范大学
地址 100087
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