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气体供给方法、基板处理方法以及气体供给装置.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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气体供给方法、基板处理方法以及气体供给装置.pdf

    在本发明中，进行第1供给工序，使第1气体作为通过使材料气化而生成的第2气体的载气与第2气体混合，将第1气体与第2气体的混合气体供给至基板等处理对象(清洗去除)。接着，进行将加热的第1气体向处理对象供给的第2供给工序(蒸发干燥)。由此，能够有效地进行处理对象上的异物的清洗以及去除。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114730705 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202080081308.7 (74)专利代理机构 上海立群专利代理事务所

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