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一种光刻装置及其应用.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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一种光刻装置及其应用.pdf

    本发明实施例公开了一种光刻装置及其应用。光刻装置包括LED光源，LED光源包括多个LED芯片和透镜，每个LED芯片与对应的透镜共光轴；第一类LED芯片的中心位于以中央LED芯片的中心为圆心的第一圆周上，第二类LED芯片的中心位于以中央LED芯片的中心为圆心的第二圆周上，且第一圆周的半径小于第二圆周的半径。本发明实施例的技术方案，可以实现在9.4mm×9.4mm的受光面内，平均能量达到14W/cm2以上，且数值孔径NA

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114721225 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202110002833.1 (22)申请日 2021.01.04 (71)申请人 上海微电子装备(集团)股份有限公

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