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本发明公开一种复合阴极大功率等离子体发生器及引弧方法,包括复合阴极、引弧电极、电极间插件、阳极,复合阴极由端面阴极和环靶阴极组成,端面阴极位于最上端,由阴极支撑冷却单元固定,而后顺序依次连接环靶阴极、引弧电极、多个电极间插件和阳极;端面阴极,阴极环,引弧电极,电极间插件,阳极外圈均由独立的绝缘环固定,形成模块化结构,通过周向分布的压紧杆同轴紧密绝缘连接,所有电极中间形成一个电弧通道,各环之间均设置有能产生涡流气体的进气环;阴极支撑冷却单元设置有独立冷却通道,用于冷却端面阴极。该发明采用模块化结构
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114710870 A
(43)申请公布日 2022.07.05
(21)申请号 202210313091.9
(22)申请日 2022.03.28
(71)申请人 中国科学院合肥物质科学研究院
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