洁净室的洁净度10万级.docxVIP

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10 万级干净室 干净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室,是指将肯定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排解,并将室内之温度、干净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电掌握在某一需求范围内, 而所赐予特别设计之房间。 干净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染掌握的根底。没有干净室,污染敏感零件不行能批量生产。在 FED-STD-2 里面,干净室被定义为具备空气过滤、安排、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规章的操作程序以掌握空气悬浮微粒浓度,从而到达适当的微粒干净度级别。 干净室是指将肯定空间范围内之空气中的微粒子、有害空

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