一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法.pdfVIP

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2023-05-15 发布于北京
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一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法.pdf

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本发明提出的一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法，涉及金属掩膜版领域。金属掩膜版框包括固定框、四组活动框边和若干弹簧；固定框四周的外侧面上分布有若干个弹簧孔，弹簧孔沿相应的外侧面的法向向框体内部延伸；活动框边分别设置在固定框的四边上，且均与固定框的上侧面滑动连接，活动框边具有弹簧阻挡部，弹簧阻挡部覆盖于相应的固定框的外侧面；弹簧与弹簧孔相适配，分别安装于相应的弹簧孔内，弹簧外端抵接于弹簧阻挡部的内侧面上。掩膜版组件包括上述金属掩膜版框和金属掩膜版。张网时，通过朝向固定框中心的方向挤压移动

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114703450 A (43)申请公布日 2022.07.05 (21)申请号 202210355669.7 (22)申请日 2022.04.06 (71)申请人江苏高光半导体材料有限公司地址