多模穴测试座结构.pdfVIP

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2023-05-15 发布于四川
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多模穴测试座结构.pdf

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本申请涉及晶片测试装置的领域，尤其是涉及一种多模穴测试座结构，其包括金属载盘，承载着多个待测晶片；承载组件，包括载台，金属载盘以接触式安装该载台上；压合组件，包括压合座，压合座位于压合组件底部；压合座面对载台的表面嵌设网状密封垫，网状密封垫于压合座表面形成多个网格区，压合座另设有多个定位柱，金属载盘上也设有多个对应孔，在操作压合座压合于载台上，定位柱位于对应孔内，且由网状密封垫与金属载盘接触，让每个网格区对应一个待测晶片且形成一独立的封闭空间。本申请具有尽可能保证晶片测试的精度的效果。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114740230 A (43)申请公布日 2022.07.12 (21)申请号 202210390319.4 (22)申请日 2022.04.14 (71)申请人苏州艾方芯动自动化设备有限公司地址