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一种线圈结构能随放电腔结构进行变化的离子源.pdfVIP

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  • 2023-05-15 发布于四川
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一种线圈结构能随放电腔结构进行变化的离子源.pdf

    本发明公开了一种线圈结构能随放电腔结构进行变化的离子源，包括从外至内依次同轴设置的离子源腔、线圈支撑、线圈和放电腔本体；放电腔本体包括放电腔顶部、放电腔中部和放电腔底部；放电腔顶部为中空圆环；放电腔底部为中心设有进气孔的圆盘；放电腔中部包括上端直筒和下端Dome型筒；线圈支撑的外圈安装在离子源腔的内壁面，线圈支撑的内壁面形状与放电腔本体的形状相同；线圈安装在线圈支撑内，且包括筒形螺旋线圈和Dome型线圈；筒形螺旋线圈的位置与上端直筒的位置相对应，Dome型线圈与下端Dome型筒的位置相对应；每层

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114724912 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202110002163.3 (22)申请日 2021.01.04 (71)申请人 江苏鲁汶仪器有限公司 地址 221

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