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一种巨量转移装置和巨量转移方法.pdfVIP

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  • 2023-05-16 发布于四川
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一种巨量转移装置和巨量转移方法.pdf

    本发明涉及一种巨量转移装置和巨量转移方法，该装置包括：激光器，用于发出激光光束；第一透镜，用于将激光光束经第一透镜整形成圆环光斑；第二透镜，用于将圆环光斑导射于载有待转移微型发光二极管芯片的第一基板上；第二透镜上固定有传动组件，传动组件用于移动第二透镜以调节第一透镜与第二透镜之间的间距，以调节圆环光斑直径的大小。本发明中的激光扫描方式为以圆环为单元进行扫描并通过改变圆环的直径大小达到改变扫描位置的方式，使得激光能更加均匀，仅仅需要控制第一透镜与第二透镜之间的间距便可以控制圆环与圆环之间的重叠区，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112967975 A (43)申请公布日 2021.06.15 (21)申请号 20201

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