垂直腔面发射激光器及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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垂直腔面发射激光器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种垂直腔面发射激光器，包括主动区平台，所述主动区平台包含分别位于其下部、顶部的氧化层、P型电极，所述氧化层包括氧化限制层和被所述氧化限制层包围的氧化孔；所述主动区平台内部设置有至少一条电性通道，所述电性通道从P型电极出发并向氧化限制层延伸。本发明还公开了所述垂直腔面发射激光器的制备方法。相比现有技术，本发明具有更大数据传输带宽和数据传输速率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114759433 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210300489.9 (22)申请日 2022.03.24 (71)申请人苏州长瑞光电有限公司地址 215