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- 2023-05-16 发布于四川
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本发明涉及一种高密度ITO靶材的制备方法，属于光电材料制备技术领域，包括以下步骤：向去离子水中加入单体、交联组分和分散剂，搅拌均匀后用氨水调节pH至9‑10，得到预混液；向预混液中加入ITO粉体，球磨得到浆料，再加入引发剂和催化剂，混合后加入气干性助剂，搅拌均匀，得到ITO浆料；将ITO浆料浇注于模具中并在55‑70℃条件下干燥2‑5h固化成型，脱膜得到ITO坯体；将ITO坯体干燥、脱脂、烧结，得到高密度ITO靶材；本发明通过加入气干性助剂和交联组分，克服现有凝胶注模成型的ITO
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114773052 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 202210487844.8 C23C 14/08 (2006.01)
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